Artikel-Archiv c't 9/1992, Seite 118
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3-D in Silizium
Stuttgarter Forscher entwickeln dreidimensionale Schaltkreise
Größere Speicher- und Verarbeitungskapazitäten erfordern immer kleinere Chip-Strukturen der Mikrochips. Doch die Grenze der Verkleinerung ist absehbar. Deshalb bleibt bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen nur der Weg in die dritte Dimension. Am Stuttgarter Institut für Mikroelektronik wurde dafür ein völlig neuartiges Verfahren entwickelt.
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